DIN 32566-2007 微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范
作者:标准资料网
时间:2024-05-21 19:06:20
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【英文标准名称】:Productionequipmentformicrosystems-SpecificationforanX-RayLithographyMaskSupportRing
【原文标准名称】:微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范
【标准号】:DIN32566-2007
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2007-12
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:支承环;定义;尺寸;电子设备及元件;精密机械;光刻;掩膜支持环;掩膜;微型系统;特性;半导体器件;半导体;规范;规范(验收);支撑环;X射线
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:N38
【国际标准分类号】:31_020;37_020
【页数】:9P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范
【标准号】:DIN32566-2007
【标准状态】:现行
【国别】:德国
【发布日期】:2007-12
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:支承环;定义;尺寸;电子设备及元件;精密机械;光刻;掩膜支持环;掩膜;微型系统;特性;半导体器件;半导体;规范;规范(验收);支撑环;X射线
【英文主题词】:
【摘要】:
【中国标准分类号】:N38
【国际标准分类号】:31_020;37_020
【页数】:9P;A4
【正文语种】:德语
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